| 一种平板位移式计量型原子力显微镜及其使用方法 |
| CN202311081799.7 2023-8-25 发明申请 |
| 2023-12-15 |
| 本发明涉及一种平板位移式计量型原子力显微镜及其使用方法，包括自溯源光栅干涉仪(1)、XY纳米位移台(2)、XY粗调台(3)、原子力测头(4)和基座(5)，基座(5)上设有XY粗调台(3)和龙门架(6)，XY纳米位移台(2)和自溯源光栅干涉仪(1)分开放于XY粗调台(3)上，XY纳米位移台(2)上放有样品(7)，XY纳米位移台(2)上悬有自溯源光栅(8)，自溯源光栅(8)与自溯源光栅干涉仪(1)对准，原子力测头(4)悬于XY纳米位移台(2)上方。与现有技术相比，本发明的横向位移量值基于自溯源光栅干涉仪测量，使量值直接溯源至“米”定义，测量更加准确，有效解决测量值的可靠性与测量过程的稳定性。 |
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