| 一种利用原子力显微镜为基台进行拉伸试验的装置与方法 |
| TW095115959 2006-5-4 发明申请 |
| 2007-11-16 |
| 一种利用原子力显微镜(AFM)为基台进行拉伸试验的装置与方法, 系以原子力显微镜扫描模组为基台及具有垂直拉伸能力之平台(或元件)做拉伸试验, 利用原子力显微镜扫描模组内建探针、雷射量测点与光检测器来量测被拉伸物被拉伸时之变形量, 再反求其变形力; 当垂直拉伸压电平台或(或元件)拉伸时, 其位移量可由垂直干涉仪量测得知, 并与探针变形之距离结合即可得知其被拉伸物的位伸量; 且将电压/电流检测器连接线装在被拉伸物二端上, 便可量测被拉伸物在被拉伸时的电压-电流-阻抗之关系。 |
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