| 电子显微镜，用于确定探针的接触点和接触的方法 |
| US11459359 2006-7-23 发明申请 |
| 2007-11-15 |
| 本发明提供一种适于观察至少一个样品的电子显微镜。 所述样品具有至少一个测试区域，并且所述测试区域上的样品的材料是半导体或导电的。 所述电子显微镜包括载物台，电子枪和至少一个探针。 所述载物台适于承载样品且样品不电接地。 所述电子枪适用于产生电子束并在样品上积累电荷。 当探针接触测试区域时，测试区域的图像对比度会发生变化。 通过探头的电流也将在接触时改变。 基于这些原理提供了确定探针开始接触电子显微镜内的样品表面的“何时”和“何地”的方法。 |
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