| 聚焦检测装置,显微镜和聚焦检测方法。 |
| JP2006118557 2006-4-21 发明申请 |
| 2007-11-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一个适当的AF操作与相对于不同折射指数的各种样品。溶液 : 一个光接收电路122获取一个电气信号的幅度,对应于该所反射的光的强度由样品102和穿过一个物镜透镜105。基于所述的电气信号的大小,控制部121设定的周期采样该电信号。还,所述控制部121使所述光接收电路122以样品所述的电气信号在所述设定周期; 和由此获得的数据对应于所述的电气信号的大小。然后,所述控制部121控制该样品102之间的间隔和所述物镜透镜105,通过控制所述的驱动一Z级117,基于所获取的数据通过所述采样。版权 : (C)2008,inpit |