| 3-维图像建立的方法和传输电子显微镜 |
| JP2006122800 2006-4-27 发明申请 |
| 2007-11-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一个三-维图像建立方法能够获得一种具有更好的三-维图像的图像一种常规一个和反射比的质量精确的测试件结构，和一个传输电子显微镜。溶液 : TEM图像I([!θ!]1)，I([!θ!]2)，。。。I([!θ!]n)是在各个测试件获得的倾斜角度[!θ!]1，[!θ!]2，。。。[!θ!]n，和所述图像数据的所述倾斜构成的图像的一系列s1的TEM图像I([!θ!]1)，I([!θ!]2)，。。。I([!θ!]n)被存储在图像存储器16。这个过程被重复进行，所述倾斜图像和所述的图像数据系列S2，S3，。。。Sm构成的TEM图像I([!θ!]1)，I([!θ!]2)，。。。I([!θ!]n)被存储在所述图像存储器16。一个集成电路17所述的TEM图像中提取所述相同的测试件从所述倾斜的倾斜角度的图像串S1，S2，。。。Sm，和将这些，获得所述的集成图像用于每个测试片的倾斜角度[!θ!]1，[!θ!]2，。。。[!θ!]n。三-维图像建立电路18建立基于所述测试件的所述3维图像上的所述的集成通过所述整合电路17获得的图像。版权 : (C)2008，inpit |
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