| 扫描电子显微镜 |
| JP2006122886 2006-4-27 发明申请 |
| 2007-11-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜可观察测试片上引入的蒸汽有效地和均匀。溶液 : 所述的低真空气氛型扫描电子显微镜保持一个电子光学系统的透镜体包括一个电子枪室和一个物镜在高真空，并使一测试片室一种低真空气氛中的一个指定真空压力，和包括一个蒸汽引入喷嘴引入蒸汽。该蒸汽引入喷嘴具有一个向下面向喷嘴端口和一个电子束通过部分通过其所述电子束照射通所述喷嘴口是在一使用位置时所照射的所述通道上的电子光束。版权 : (C)2008，inpit |
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