| 电子显微镜物镜的像差特性和用于测量的方法及其系统 |
| WOJP07000455 2007-4-25 发明申请 |
| 2007-11-8 |
| 一种方法用于测量所述像差的一个电子显微镜和电子显微镜配备有一装置具有一根据该结果的所述像差校正的功能所述测量。在所述的方法，至少一个ronchigram(12a)被观察到，diffractograms(13a)在至少一个位置被计算; 和所述像差被测量从所述的附图。所述的电子显示所测量的像差的显微镜具有一个功能和调整所述操作的功能所述的电子显微镜的条件根据所述测量结果。使用本发明的原理，一图像捕获装置，用于观察一ronchigram，一种图像分析所述ronchigram装置，用于分析所述傅里叶变换的图和计算所述像差，和一个控制装置用于调整所述操作条件根据所测量的所述的电子显微镜像差的需要。 |
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