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透射电子显微镜的校准标准

US11237410 2005-9-28 发明授权

2007-11-6

一种校准标准包括硅衬底，该硅衬底具有多个限定区域和放置在硅衬底的相应限定区域上的多个校准标记。每个校准标记包括不同的校准尺寸指示器和相应的尺寸标识符。一种使用该标准校准透射电子显微镜的方法，包括将校准标准定位在透射电子显微镜的观察区域中，并依次观察标记和针对每个观察到的标记调整显微镜的校准。