| 红外显微镜 |
| JP2006115097 2006-4-19 发明申请 |
| 2007-11-1 |
| 要解决的问题 : 提供一种红外显微镜可观察试样的图像和孔径图像, 同时使用,结构简单。溶液 : 该红外显微镜包括红外线光照射装置(12)用于照射红外光对样品测量部; 显微装置14,用于聚光上述光,从样品; 孔16,用于屏蔽从样品以外的其他部分的光测量部; 红外的光检测装置18,用于检测从样品的红外光通过的孔16; 孔照射光源20投影孔径图像,在样品; 样品的照明光源(22)照射可见光在样品附近的测量部; 样本图像观察装置26,用于观察可见光从样品观察的样品图像,对该 该孔径图像进行投影; 观察分束器24放置在显微装置之间的光路14和孔16, 引导可见光, 从样品到样品图像观察装置26和红外光从样品到孔16。版权 : (c)2008,补正 |