| 扫描探针显微镜和基板的检查方法。 |
| JP2006115950 2006-4-19 发明申请 |
| 2007-11-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够容易地鉴别所述的一种衬底上检查区域以扫描所述相同。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个光源35用于照射该基板1上的所述光反应性物质，一种传感器27用于检测通过检查所述光反应在所述光反应性物质产生的光，一放置机构145用于设置一探针40与一个所述衬底1上的光反应性区域，其中所述光反应被检测和一扫描机构45，用于允许所述探头40以扫描所述光反应性区域。版权 : (C)2008，inpit |
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