| 聚焦维护装置和显微镜 |
| JP2006116068 2006-4-19 发明申请 |
| 2007-11-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一聚焦维护装置能够精确地检测一个聚焦的，即使当存在发生一个聚焦检测光学系统中的一个温度的变化和试样的观察光学系统，并可靠地保持所述该样品的聚焦状态，和一种显微镜。溶液 : 该显微镜100包括一个聚焦检测光学系统由一个焦点检测单元21的，一种二向色镜39，和一物镜透镜3作为聚焦检测装置共享所述物镜透镜3所观察的光学系统，一加热装置22，一聚焦机构23，和一个控制部分24。一个温度控制部24a所述控制部分24执行的所述的控制，使得所述的各自温度成像透镜4和36成为预定目标温度通过加热该加热装置22所述的碳加热器。版权 : (C)2008，inpit |
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