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原子力显微镜扫描和图像处理

US11413579 2006-4-28 发明申请

2007-11-1

使用原子力显微镜产生结构的形貌轮廓。扫描所述结构，使得以比所述结构在所述感兴趣区域之外的部分更高的分辨率扫描所述结构的感兴趣区域。然后基于所述扫描生成所述结构的简档。为了校正轮廓的歪斜和倾斜，轮廓的第一特征与坐标系的第一轴对准。然后，操纵所述轮廓以将所述轮廓的第二特征与所述坐标系的第二轴对齐。