| 扫描电镜及标本观察方法 |
| WOJP22023427 2022-6-10 发明申请 |
| 2023-12-14 |
| 本发明包括偏转器(114)，其具有电子转换电极(141)、第一电极(142)和第二电极(143)以及第三电极(141)，所述电子转换电极定位成使得当用一次电子束照射时从样本发射的二次电子与其碰撞，所述第一电极和第二电极可透过电子并且定位成彼此面对，所述第三电极定位成面对第一电极(142)，第二电极(143)插入其间。 所述电子转换电极(141)被分割为多个分割电极，所述第三电极(141)的电位相对于所述第二电极(143)的电位具有正的电位差。 |
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