| 激光扫描显微镜和用于该操作过程的一激光扫描显微镜 |
| WOEP07003240 2007-4-12 发明申请 |
| 2007-11-1 |
| 本发明涉及一种与一个照明模块(bm)激光扫描显微镜，其包含一激光器单元(1)，其产生一激光束束(2)和含有一个扫描单元(8)，其聚焦激光束束(2)到一个试样到被检查的一预定区域(14)和引导它跨越该区域，由此样品的辐射被由于所产生的该聚焦激光束束之间的交互和所述试样(14)，和一个检测模块(DM)检测所述样品的辐射产生的共焦地，其中所述的照明-和\/或所述检测模块(BM，DM)具有至少一个透镜(7，3，5)的焦宽度是可调。 |
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