| 用于校准测试物体的扫描电子和扫描探针显微镜 |
| RU2006113068 2006-4-19 发明申请 |
| 2007-10-27 |
| 领域 : 物理学。剂本发明属于测量领域的小段，轮廓的几何参数表征固体表面的形貌特征。纳米米的范围内进行测量(1-1000)使用光栅电子扫描探针显微镜。所述测试对象的地形曲面结构的形式，其具有一外形特点，其侧边有突起，在底座上平面，其大于光栅电子扫描探针显微镜的探针。所有部件都有侧边之间的夹角为锐角，下基面，在这种情况下，所述凸起为一组的形式的步骤，至少两个连接在一个不等于零的角和不180的倍数。本发明技术方案，提高了测量的精度，拓展所提出的结构功能特性。^3Cl，2的双层管 |
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