| 激光扫描显微镜与主光束分束器,用于所述空间分离从照明和检测辐射 |
| DE102006017841 2006-4-18 发明申请 |
| 2007-10-25 |
| 一激光扫描显微镜与一照明辐射源(5)和一个检测光线的路径(2),其在一样品的生动(3)和\/或沿Z-轴(oa)反向散射的辐射到一个检测器机构(4)和在一分束器(13)引线是预期的,是由可用,其中所述的照明辐射源(5)上传送的照明辐射在一个照明束路径(B)向该样品(3)被导向,其中所述分束器(13)在所述样品(3)反射照明辐射没有反映用于检测器机构(4)到发生使和另外一种光瞳中所述的照明(b)设置的束路径以及作为部分反射的是,其中所述分束器(13)一个在所述检测路径光线的(2)位于光束分离器表面(22)它表现出其中至少三个点处被反射(23a-d)用于所述的照明辐射,其被所述分束器上表面(22)的圆周上围绕所述刺穿点(25)的该Z-轴(oa),和其照明辐射源(5)的一个所述分数部分喷射的适当的数量(SA-d)产生的和这些聚焦在所述三个点(23a-D)的所述分束器(13)在这种方式,其在所述样品(3)一种干扰样品(28)中形成周期性地在所述分布的照明标记的样品(3)(26)显影。 |