| 扫描探针显微镜和方法用于获取图像样品反射的物理性能值 |
| JP2006106595 2006-4-7 发明申请 |
| 2007-10-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜用于获取，一个短时间中，多个图像的其反映所述样品的物理性能值不受温度漂移。溶液 : 第一中获取一个图像反射所述样品的物理性能值，一探针21是扫描二维由xyz扫描仪12，以获取所述样品上的三-维信息S的一探针扫描轨迹是计算通过一个计算部分25，基于所述二维扫描的方向上和在所述三个三维信息。所述计算出的扫描轨迹被存储在存储器27，和所述探针21是沿该扫描扫描轨道由所述XYZ扫描器12，以获取一个图像反射所述样品的物理性能值; 和在获取一个图像，其反映所述样品的物理性能值此后，该探针21被通过该XYZ扫描器12扫描，沿该扫描所述存储器中存储的轨道27，以获取一个图像反射该样品的物理性能值S的版权 : (C)2008，inpit |
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