| 反射图像形成电子显微镜和缺陷检查装置使用它 |
| JP2006101468 2006-4-3 发明申请 |
| 2007-10-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一缺陷检查技术能够观察或检查的样品通过区分从另一对比度得到的对比度得到的从一个形状从一个潜在的条件。溶液 : 该反射图像形成中的电子显微镜，一个缺陷检查装置具有一预充电控制装置40到一种样品的表面由充电控制静电电荷所述样品表面由一个平面电子束的照射，以及一种装置，以分离所得到的对比度从所述的形状缺陷所述样品从另一对比度得到的从一个电位从一个反射镜获得的电子图像缺陷，通过构造它，以便控制所述样品的电位根据该种物镜的所述样品的缺陷。版权 : (C)2008，inpit |
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