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产业专利数据

多频原子力显微镜

US11544130 2006-10-5 发明申请

2007-10-25

描述了一种用于在原子力显微镜和相关MEMS工作中提取振荡悬臂或其它振荡传感器的较高本征模态或谐波中携带的信息的设备和技术。