| 扫描型电子显微镜 |
| WOJP07058480 2007-4-12 发明申请 |
| 2007-10-25 |
| 磁场产生一个电子显微镜所述对象的透镜的效率提供与一个半无限透镜类型对象的透镜为改进，和所述对象的透镜所述励磁线圈的功率消耗被降低。一绝缘样品的电荷被中和，以使稳定距离测量。所述的电子显微镜包括，在一个光学轴线上，以便增加场强度，一磁光盘(18)。在所述的附近设置一磁极间隙，以被独立的物体透镜(3)与所述中心所述盘的轴与所述的光学轴对齐。这种磁光盘被设置与它和所述物镜之间的空间(3)(一个之间的空间所述盘(18)和下磁极(16))，以增加磁电阻与相对于该物体透镜(3)。 |
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