| 探针架和扫描探针显微镜 |
| JP2006095150 2006-3-30 发明申请 |
| 2007-10-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一探针座，用于执行探针简单地和在短时间的变化而不troubling一个工人和被适用于本发明还涉及一种小尺寸的扫描探针显微镜。溶液 : 该测头保持架3被相对设置的一个试样S和用于在其上固定多个探针2各具有一探头2b上的杠杆的一个端部2a与所述基端侧所述杆部支撑在一悬臂状态的一个体部2c上。这种探针座3是配备有一固定板10包括一相反的表面10a的立起相反，以一个样品的表面S1用于固定所述多个探针的所述相反表面上分别可拆卸地通过所述体部; 一夹持器体11，用于可移动地支撑所述固定板，和一个可移动装置12用于移动所述固定板而所述多个探针的之间的任何选择的探针定位在一个观察位置P。版权 : (C)2008，inpit |
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