| 显微镜 |
| JP2006098090 2006-3-31 发明申请 |
| 2007-10-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜能够不断捕获的适当的聚焦误差检测特性，而不管的交换物镜的透镜。溶液 : 所述聚焦误差检测光学系统20，20a，和20b分别由光学单元的2，2a，2b分别，其具有光学参数对应于所述孔的数量用于该对应的物镜11，11a，11aB。一控制部分3选择一个所述的光学单元2，2a，和2B构成所述聚焦误差检测光学系统20，20a，和20b相对应的所述物镜透镜11，11a，和11b中使用。使用一个聚焦误差信号通过所获得的聚焦误差检测光学系统20，20a，或20b选择，所述控制部分3带来了一种观察光学系统10为一聚焦位置。版权 : (C)2008，inpit |
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