| 显微镜，控制方法用于显微镜和控制程序用于显微镜 |
| JP2006100441 2006-3-31 发明申请 |
| 2007-10-18 |
| 要解决的问题 : 提供一种显微镜能够快速的校正所述样品的位置偏差在一个观察图像，和一个用于快速校正所述的位置偏差校正方法的所述样品上所观察图像。溶液 : 通过接收一个信号上的电源，该控制器40所述显微镜100拾取的所述的图像该样品在样品台30通过使用一种成像装置80和设置多个目标的帧。当microscopist设置一个所述目标的帧，该控制器40存储该顶点的坐标。当所述物镜的放大率20被改变，该控制器40拾取所述的放大图像和存储所述所述放大的目标帧的所述顶点的坐标。然后，该控制器40减少了所述图像的放大进一步通过掩蔽的区域以外的所述的周边所述目标帧之前的放大。此后，该控制器40指定的最大匹配的位置通过图案匹配所述的缩小图像。该控制器40获取所述一个从所述指定的坐标原点位置的移动量，和移动的X-轴级31和一个Y-轴级32，从而校正所述的位置偏差。版权 : (C)2008，inpit |
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