| 使用相同的扫描电子显微镜和测量方法 |
| JP2006089722 2006-3-29 发明申请 |
| 2007-10-11 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜能精确测量的，而不使用任何标准样品，和以提供一种使用所述扫描电子显微镜测量方法。溶液 : 扫描电子射线(入射光线)被间歇地施加到样品6，当所述的电子产生的反向散射电子被施加到该样品6是由一反向散射电子探测器22检测，和所述时间之间的差所述的电子施加到该样品6和所述的反向散射电子检测由所述的反向散射电子比较和测量检测器22; 因此该样品的表面形状测量。版权 : (C)2008，inpit |
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