| 扫描探针显微镜及其测量方法。 |
| KR1020077019077 2007-8-21 发明申请 |
| 2007-10-10 |
| 一种测量方法使用一种扫描探针显微镜包括一个第一步骤(S11)的样品的扫描该表面在两个或一个的X和Y-方向与探头(20)，同时控制所述位置的所述探针在所述样品上的Z-方向(12)沿一预定的探针装置的移动路径的XYZ细移动机构(29)，一第二步骤(S12)的所述的表面上的所述样品采集测量信息的装置的一个测量部分和所述执行期间一位移检测部第一的步骤，一第三步骤(S13)的确定一个用于第二扫描探针移动路径和一用于其测量部分测量包括一平行的方向所述样品表面沿所述探头移动路径上的部件是根据所获取的测量信息进行在第二步骤，和一第四步骤(S14)进行测量，包括一平行的方向的分量根据所述第二扫描，在这种测量方法，所述探针的所述磨损是当所述侧壁的小细在所述样品表面的凹槽或该等被测量，从而增强所述测量的可靠性和简化该控制所述探针的运动扫描。kipo&wipo2007 |
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