| 制造探针尖端的方法和用于使用在扫描探针显微镜探针 |
| KR1020070042629 2007-5-2 发明授权 |
| 2007-10-5 |
| 目的 : 一种用于制造方法的一个探针尖端和一用于一种扫描探针显微镜是提供使用的探针，以提高尺寸精度和切割下一所述探针的制造成本，通过使用一种通用的硅晶片而比一种SOI晶片，构成 : 一种用于制造方法的一个探针尖端和一探针，用于一个扫描探针显微镜包括一个形成一个三角形的步骤形成极与一保护层(510)在两个侧壁通过构图一个一般的硅晶片(500)，形成所述三角形的一个步骤极作为一三角形的喇叭型探针尖端通过蚀刻该硅晶片，和一个除去该保护层的步骤。所述三角形极形成步骤包括一个步骤所述硅晶片上形成一个三角形掩模层的周围形成一沟槽的两个侧面的步骤; 所述的掩模层，一形成所述保护层的步骤在所述沟槽的整个区域，所述掩模层，和所述硅晶片的上和下表面，除去该保护层的一个步骤从所述上部该硅晶片的表面，形成所述三角形的一个步骤极通过蚀刻该硅晶片，和一步骤去除所述的保护层的一个侧表面用于所述掩模层。kipo2007 |
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