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扫描透射电子显微镜和扫描透射电子显微镜

US11806120 2007-5-30 发明申请

2007-10-4

一种扫描透射电子显微镜，用于扫描样品上的初级电子束，通过检测器检测来自样品的透射电子，并形成透射电子的图像。扫描透射电子显微镜包括电子光学系统，该电子光学系统能够将透射电子束切换回光轴预定量，以及确定单元，用于基于由初级电子束的扫描引起的透射电子相对于检测器的位移来确定所述量。