| 显微镜包括一个聚焦误差检测光学系统 |
| EP07006439 2007-3-28 发明申请 |
| 2007-10-3 |
| 一个聚焦误差检测光学系统(20)具有一个光学参数，使聚焦范围中的锁定通过一聚焦误差信号(e)被一值能够检测的聚焦在一个盖的前表面玻璃(52)和聚焦在其背表面分开。一控制部分(3)，基于该聚焦误差信号通过所获得的聚焦误差检测光学系统(20); 带来了一种观测光学系统的一个焦点(10)到一个聚焦位置。进一步，聚焦误差检测光学系统(20)包括光学单元的每一个都具有一个光学参数对应的一个数值各自的物镜的孔径(11)。一种控制部选择(3)所述光学单元的所述聚焦误差检测光学系统对应于所述物镜透镜(11)中使用。所述控制部分，使用一个聚焦误差信号通过所选择的聚焦误差检测光学系统获得，带来了一种观测光学系统的焦点到一个聚焦位置。 |
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