| 线宽测量调整方法和扫描电子显微镜 |
| KR1020070029451 2007-3-26 发明申请 |
| 2007-10-2 |
| 目的 : 一种线宽测量调整方法和一种扫描电子显微镜测得的结果被提供以避免差通过调节电子束强度分布。结构 : 一种扫描电子显微镜(100)包括一个电子扫描单元(10)，一信号处理单元(30)，一种图像显示单元(40)，和一个控制单元(20)用于控制每个部分的所述的电子扫描单元，所述信号处理单元，和所述图像显示单元，所述的电子扫描单元包括一个电子枪(1)，一聚光透镜(2)，一个偏转线圈(3)，一个物体透镜(4)，一个移动级(5)，和一个样品夹持器(6)。带电颗粒(9)被从所述的电子枪照射到一个样品(7)在所述移动stag通过所述聚光透镜，所述偏转线圈，和所述对象的透镜。一种电子检测器(8)包括一个闪烁体被形成以检测所述量的二次电子的或反射电子，kipo2007 |
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