| 原子力显微镜 |
| JP2006070132 2006-3-15 发明申请 |
| 2007-9-27 |
| 要解决的问题 : 以实现一种原子力显微镜，其能够节省空间和短-时间测量，使用一个位移检测器具有再现性的几十皮米。溶液 : 所述原子力显微镜，其是配备有一悬臂5的该背面被反射镜表面和第一和第二的激光束源1和2两者中，其是不同的波长。激光束3和4分别发射到所述悬臂的所述反射镜表面5从该激光光束源1和2。两个激光束源1和2被配备与聚光光学系统的独立到每个其它和所述激光光束3进入所述反射镜表面的所述悬臂的自由端部5，以形成一聚焦和进入第第一光检测器8。该激光光束4进入所述反射镜所述悬臂的所述固定端部5的表面以形成一个聚焦和通过一个二向色反射镜7，用于只反射该波长所述激光束4的附近以被投掷在第二光检测器9。所述悬臂的高精度的位移是从所述的所述位置数据之间的差获得两个激光束3和4由于两个光电检测器8和9。版权 : (C)2007，inpit |
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