| 用于控制方法的探针扫描探针显微镜 |
| JP2006076205 2006-3-20 发明申请 |
| 2007-9-27 |
| 要解决的问题 : 提供一种用于控制所述一个扫描探针显微镜的探针的方法，和能够在整个测量精度提高可靠性和容易地控制该一个所述探针的尖端部的运动，在一个用于测量所述形状的扫描探针显微镜样品的表面不规则性等的预定点处测量由一步骤中的方法。溶液 : 该方法用于控制所述一个扫描探针显微镜的探针被施加到一个扫描探针显微镜，提供与一个探头部分具有所述探头20相对的到样品12; 一个检测部分，用于检测所述样品和所述探针之间的物理量作用; 一个测量部分，用于测量该样品的表面上的信息，所述的基础上的所述物理量; 和一移动机构。当所述探针是由以所述样品的移动沿所述表面的形状，在该基础测量值的dn-1和DN，至少在两个点测量的获得通过已经执行测量操作，所述接近所述探针的方向α |
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