| 扫描探针显微镜 |
| JP2006076206 2006-3-20 发明申请 |
| 2007-9-27 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，用于半导体生产中作为一列直插式的自动检查设备处理和可用于缺陷管理信息有效有用的管理和缺陷分析之后，当通知计算机的所述检测到的状态的量，当该不一致的缺陷被检测和记录。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括两个探针15在一悬臂的尖端16，和一个测量单元23用于使所述晶片的探针靠近所述测量的点14和获取信息在该样品的表面在该点的测量。所述扫描探针显微镜是提供具有一坐标值获取部分(运算和控制单元31)，用于获取数据在所述测量的坐标点的值设定在所述样品的表面; 一状态量测量部分(电荷移动监视器部17)用于测量所述量的状态，至少在该点缺陷上测量的; 一存储部(状态量记录装置33); 和一个记录执行部分(运算和控制单元31)用于相关的所述的坐标值在该点测量到所述量的状态和将它们记录在所述存储部。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号