| 扫描电子显微镜 |
| JP2006068484 2006-3-14 发明申请 |
| 2007-9-27 |
| 要解决的问题 : 实现高分辨率的功率(低像差)在其中一个样品中的一个目的是设置在该进一步的电子枪比所述内侧磁极和所述物镜的外侧磁极。溶液 : 一个用于设计基音所述磁场中是如何以加强B型透镜的磁通分布B(z)所述透镜的所述光学轴线上，和所述透镜的厚度如何，以薄(即是，所述所述Z的宽度B分布)。用于这个目的，一个所需的磁场是以一种被集中在所述的附近电子束照射通过检查样品上部分的形状和配置所述的内侧磁极和所述外侧磁极所述的物镜13。用于这个目的，第一所述内侧磁极13a是形成为一圆台作为图中示出。4，和所述样品12是该截锥的附近设置所述基座侧。版权 : (C)2007，inpit |
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