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相位-对比度电子显微镜
EP07102803 2007-2-21 发明申请
2007-9-19
所述的电子显微镜具有一个衍射透镜(11)成像后焦平面(10)的一个物镜(8)成一种衍射-中间图像平面(21)中的一个放大的方式。另一衍射透镜具有一主平面,其被设置在邻近所述衍射的-中间图像平面。一个相移单元(16)被设置在所述衍射-中间图像平面或在所述邻近所述衍射的-中间图像平面。一束偏转系统E。G。双-偏转系统,一种电子束偏转到两个方向,其是在右角到每个其它。
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