| 一种光栅的悬臂探针显微镜 |
| DE102006011598 2006-3-10 发明申请 |
| 2007-9-13 |
| 本发明涉及一种悬臂(15)的一个扫描探针显微镜(10)具有一扫描尖端(16)。另外，本发明涉及一种扫描探针显微镜(10)，特别是一种原子力显微镜(10)，和以一种用于操作一个扫描探针显微镜(10)的方法，特别是一种原子力显微镜(10)，其中一个样品(12)中被感测到的所述形成一栅极的使用一扫描尖端(16)，它是一个悬臂上设置(15)。本发明还涉及所使用的一悬臂(15)。该悬臂(15)是由所述的事实区别所述悬臂(15)包括一压电体(30)和所述压电体(30)是具有一个第一的一对电触点(26，31，32，35，36)和第二一对电气触点的(27，32，33，37，38)，其中第一电变量已经或被施加到所述输入的所述的压电体(30)通过第一对电触点(26，31，32，35，36)，和其中一个所述压电体特性的特性(22)已经或被感测在所述输出与所述辅助通过第二对检测到的电流的电触点(27，32，33，37，38)。 |
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