| 锁相-型中高频率扫描隧道显微镜 |
| WOJP07053428 2007-2-23 发明申请 |
| 2007-9-13 |
| 本发明提供一种锁相-型中高频率扫描隧道显微镜，其可以观察一个原子所述的表面的图像一绝缘体或宽-带隙半导体。所述显微镜包括一个偏置功率源(8)用于施加一个高频率偏置电压的一矩形或一个探针(1)之间的正弦波和一个样品(2)，一个电流放大器(5)，用于放大一个检测电流; 在其中一个所述探针和所述样品之间的隧道电流流动和导出一个电流从一个杂散容量被混合，和信号处理装置(一锁定放大器(6)或DSP)中具有功能中的相位锁定到输入所述电流放大由所述电流放大器和同步采样信号与所述高频率的频率偏置所述相同的电压和锁与所述高频率的频率导出的偏置电压，使得该电流从所述专门的杂散容量被消除，以产生一反馈信号的所述隧道电流。 |
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