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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

使用电子显微镜测量尺寸的方法和装置

US11322560 2006-1-3 发明授权

2007-9-11

本发明公开了一种扫描电子显微镜(SEM)，用于实现需要通过低S/N信号波形测量尺寸的样品，例如ARF曝光光致抗蚀剂的高精度尺寸测量。为此，预先配准从尺寸测量目标样品和相同种类的样品材料获得的样品信号波形(或图像)的部分波形(或部分图像)，组合从尺寸测量目标样品和样品配准波形获得的测量目标信号波形(或图像)，并且基于组合结果计算尺寸测量目标图案的尺寸。