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4
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活性高的速度扫描探针显微镜组件的阻尼
WOUS07062760 2007-2-23 发明申请
2007-9-7
一种技术用于主动阻尼中的内部振动的一个扫描探针显微镜是本发明公开了。所述激励的各种机械移动,包括谐振,在该机械组件的一个SPM可以产生不利影响其性能,特别是用于高速应用。一个致动器被使用,以用于所述运动补偿。所述致动器可以只工作在所述Z方向,或可以工作在其它方向。所述致动器(S)可以位于在波腹的位置。
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