| 测量显微镜 |
| JP2006045453 2006-2-22 发明申请 |
| 2007-9-6 |
| 要解决的问题 : 以确保聚焦具有令人满意的检测可以被执行的再现性，而不管的所述的颜色所述待测量对象。溶液 : 一个测量显微镜100具有一个级102其水平移动所述待测物体101，一个透镜镜筒部分103，一垂直移动机构104垂直移动所述透镜-镜筒部分103，和一个位置检测部105其中所述透镜-镜筒部分103检测所述的位置。所述透镜-镜筒部分103具有一观察点的光学系统110，一个外部照明光学系统120，和一个索引投影光学系统130。该观察点的光学系统110具有一物镜透镜111，一种成像透镜112，一种焦平面板113; 和一个目镜114。所述外部照明光学系统120具有一个照明光源121，一种用于照明透镜122，和一个半反射镜123用于照明。所述索引投影光学系统130具有多个的光的源极部分131发射的光的颜色，一种准直透镜133，一种分离棱镜134，一中继透镜136，一种成像透镜133，和一个半透半反镜139。所述分离棱镜134将仅所述索引区域的光。版权 : (C)2007，inpit |
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