| 带电粒子光束扫描电子显微镜的装置和控制装置 |
| JP2007140962 2007-5-28 发明申请 |
| 2007-9-6 |
| 要解决的问题 : 以快速和准确地移动观察位置到一个观测视场。溶液 : 所述带电颗粒束装置包括一装置，用于检测一个目标位置之间的位置差在一个芯片图案和一个可视场预定位置移动后的显微观测视场内的一个样品台; 一个用于存储该结果的装置; 和一种装置，用于确定，在该移动到所述位置的时间在所述下观察，一个新移动目标位置在所述预先存储的位置差和所述先前的考虑适用于运动目标位置。当一个图案与所述相同的另一晶片上的图案作为所述一个中使用的最后时间烘烤所述相同的对准或所述相同的晶片上作为所述一个用于最后时间是观察到的，所述先前的移动目标指令位置到所述样品级是在考虑改变所述先前的观察视场中登记的位置滑移的所述对应的观察位置，和所述样品级是根据该指令位置移动。版权 : (C)2007，inpit |
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