| 测试样品的固定装置和扫描电子显微镜 |
| CN200610024312.1 2006-3-2 发明申请 |
| 2007-9-5 |
| 本发明提供了一种测试样品的固定装置，应用于半导体芯片测试，可以包括以下部件：固定部、压紧部和底座；所述固定部包括一垂直于底座的固定壁，所述固定部设置在底座上，压紧部包括一垂直于底座的活动壁；固定壁、活动壁以及底座之间形成的空间用于固定测试样品。本发明结构简单，成本低廉，由于采用机械的方式将样品固定在固定装置上，样品不会在扫描过程中出现振动，所以可以提高SEM的成像质量；由于固定样品的宽度是可调的，所以可以适用于在一次研磨过程中制造一个或者多个样品，从而可以提高样品制造效率，提高样品测试的速度。 |
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