| 一种扫描电子显微镜 |
| CN202311129756.1 2023-9-1 发明申请 |
| 2023-12-5 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括：第一光信号传输层、闪烁体和第一导电层；第一光信号传输层位于物镜内，且延伸至上极靴和下极靴之间；闪烁体贴合在第一光信号传输层上，闪烁体受到中低角度背散射电子冲击后产生的光信号直接传至第一光信号传输层，第一光信号传输层将光信号传输至扫描电子显微镜外部；第一导电层设于闪烁体的表面，中低角度背散射电子能够穿透第一导电层到达闪烁体上，且第一导电层外接电压。本发明在低工作电压下，提高了中低角度BSE的信号收集和转换效率，以及提高扫描电子显微镜的分辨率。 |
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