| 扫描探针显微镜的测量位置的定位方法 |
| JP2006038163 2006-2-15 发明申请 |
| 2007-8-30 |
| 要解决的问题 : 提供一定位位置的一扫描探针显微镜测量所述的方法，能够在一高速与高精度进行定位，通过消除该位置通过所述粗的操作引起的移一Z-粗调整部，在所述探针在所述测量位置的定位在所述扫描探针显微镜。溶液 : 所述定位位置的所述扫描探针显微镜测量所述的方法，包括一步骤S1用于决定所述测量位置设定到所述测量样品12的表面通过所述运动由于到XYZ样品级(11; 14和15)和所述一个电视摄像机19拍摄的操作或该等; 步骤S2中用于分离一个从所述样品探针20通过所述的移动操作所述Z细调整机构23的XYZ精细调整机构(23和29); 一用于移动所述探针与所述测量步骤S3中所述测量该样品的表面上的位置由该XY平台的移动操作机构14; 和一步骤S4，用于允许所述探针靠近所述样品通过所述的移动操作所述Z精细调整机构。版权 : (C)2007，inpit |
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