| 扫描探针显微镜 |
| JP2006038164 2006-2-15 发明申请 |
| 2007-8-30 |
| 要解决的问题 : 以获得更好的测量通过减少所施加的振动噪声的不利效果图像上的一个测量图像在测量。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一用于保持样品23样品架13，一支撑12其中所述样品架上放置，一个与探头22用于接收所产生的物理作用相对于所述该样品的表面; 一个测量头30用于输出所述物理作用为一个信号，一驱动机构(XY轴粗略运动机构15和16和一XY轴微调扫描器35)，用于扫描所述的探针，与相对于所述的表面所述样品和一驱动机构(Z-轴的粗移动机构17和一Z-轴微调扫描器34)，用于改变所述探针和样品之间的距离。该样品台是连接\/固定到另一部件通过一阻尼合金垫片19。版权 : (C)2007，inpit |
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