| 激光扫描式共焦显微镜 |
| JP2006040663 2006-2-17 发明申请 |
| 2007-8-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于提高激光扫描式共焦显微镜分辨率的高度测量和获取一个共焦图像具有优良的对比度。溶液 : 一个上设置分别存在一个快门24一第二BS反射的光学路径16，其将所述光学路径的一激光束从光源1，一个聚焦透镜22用于其中该光瞳位置是一物镜透镜7设置在所述光瞳的位置和在该位置共轭与XY光学偏转单元3，和一个参考反射镜23所述聚焦透镜22设置在所述焦点的位置。在该快门24是打开所述的反射的光所扫描的光在所述参考镜23被引入到一检测器11侧通过一个类似的光学路径到所述样品8反射的光，其中所述各个反射光束与每个其它干扰，以检测该干扰图案通过所述检测器11通过一个针孔10。版权 : (C)2007，inpit |
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