显微镜检查装置
 
JP2006040909  2006-2-17  发明申请

2007-8-30
 
  要解决的问题 : 以提供一显微镜检查装置,其中,当一个外部力被施加到所述的远一物镜透镜在一个方向的端部相交的所述光学轴线,有效缓解了所述外部力,从而保持所述完整性所述物镜的透镜和样品。溶液 : 该显微镜检查装置包括一基件3固定到装置本体,一物镜安装构件5,用于安装一物镜透镜单元4,和一支撑机构6用于支撑所述物镜的安装构件5,以可移动相对于所述基座构件3在一个方向相交的所述光学轴线C所述物镜的透镜单元4。所述支撑机构6是配备有一内凸缘17aC中的任一个所述基座构件3安装在或所述物镜的安装构件5,一外凸缘15安装在所述其它的一个的这些部件和能够与所述内凸缘17aC轴向啮合的,和一个按压构件19用于在所述方向压紧这些凸缘它们紧密地粘贴在所述轴向方向。在该内凸缘17aC和该外凸缘15,提供有凹槽,用于当释放轴向接合该凸缘被设置在一规定的所述的光学轴周围相对旋转角度C。版权 : (C)2007,inpit
 
仿站