| 一种直接收集透射电子显微镜 |
| US11295148 2005-12-6 发明授权 |
| 2007-8-28 |
| 一种用于透射电子显微镜的优选方法包括产生显微镜信号的步骤。 然后用包括多个像素的有源像素检测器检测显微信号。 所述像素中的每一个包括至少一个光电二极管。 各像素在收集时间段内积分入射信号。 使用大规模并行的片上模数转换，可以实现非常快的读出时间，例如，每秒许多帧。 在一个优选实施例中，读出时间允许每个像素记录单个电子事件，指示单个电子或缺少单个电子。 这允许在读出和存储电子设备中简单地累加每个像素的像素计数。 |
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