| 标准样品用于显微镜及其制造方法。 |
| JP2006031420 2006-2-8 发明申请 |
| 2007-8-23 |
| 要解决的问题 : 以制造一个标准样品用于在所述校准或一种扫描探针显微镜的检查在一个短的时间通过一简单的过程。溶液 : 在所述标准样品用于使用所述显微镜在所述的校准或检查所述显微镜具有一个不均匀结构，其中具有一预定高度的突起和凹陷部分具有一预定的深度被设置在所述表面一衬底在一个预定周期，所述的固化物质的所述金属醇盐的水解产物或所述固化的物质一种环氧树脂的树脂或丙烯酸树脂是作为所述构成所述凹凸结构的材料。所产生的微细的凹凸结构是通过按压所述原始板到所述成型材料施加到所述基板以传送所述原始板的所述图案到成型材料和固化该成型材料，以释放所述相同。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号