| 扫描探针显微镜 |
| JP2007080478 2007-3-27 发明申请 |
| 2007-8-23 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其可以测量三-维形状精确的信息以及作为样品上的局部特性的分布信息，而不损坏所述样品的更高的吞吐量。溶液 : 该显微镜配备与光敏感的样品和探针之间的接近传感器，以控制方法，达到的速度升压每个测量区域的方法。另外，所述探针是间歇地与所述样品接触以获得样品的高度数据作为不与所述样品上拖动所述探头，而同时将电压施加到所述探头，振动所述探针以测量响应，或检测局部的光强度所述样品表面上的接触周期期间向所述样品。从而附加信息有关的材料分布在该样品可以获得不减少扫描速率。版权 : (C)2007，inpit |
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