| 用于扫描电子显微镜样品架，和其角度调整方法。 |
| JP2006035515 2006-2-13 发明申请 |
| 2007-8-23 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于一种扫描电子显微镜的样品台和其角度调整方法，由此该一样品可以容易地和准确地调整的角度。溶液 : 该样品台25是由所述样品的样品粘贴板30用于粘贴，三个角度调整螺钉31以支撑所述样品三个点处粘贴板30以其自由倾斜，一体33，其中所述角度调整螺钉31被螺纹，和一个底座37连接到一连接螺杆32一体地形成在所述体33。所述螺纹所述角度调整螺钉31有规则地变化的量在响应于其旋转，和一个用户该样品可以容易地和准确地调整所述的角度通过旋转操作的每个角度调整螺钉31。所述用户调整该角度的同时监控该底座25所述样品从所述侧的方向通过一个体视显微镜。栅极线被并行地显示在以规则间隔在所述体视显微镜，和所述用户调整该角度，同时参照该栅极线。版权 : (C)2007，inpit |
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